2025年2月12日，半导体设备ETF(561980.SH)收涨3.49%，成交8220.82万元。净流出2135.84万元（净换回比例*单位净值），居可比基金首位。
资金流出也带来了比例的削减，该基金最新比例较前一日削减1600.00万份，跌破6.70亿份，创近1个月新低。与此同时，该基金最新规划达8.85亿元。
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